研究PVD形成的薄膜的结构、组成、性能的相互关系,包括薄膜的力学性能和热学性能等。研究PVD制备的薄膜在液压油液应用环境中的稳定性和可靠性,包括薄膜的耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性等,为薄膜的实际应用提供技术支持。研究和开发高效、稳定、可靠的PVD制备设备,优化薄膜制备工艺,提高生产效率,降低成本,为薄膜的规模化生产创造条件。
薄膜均匀性好:基体表面薄膜厚度和性质一致性良好;
薄膜纯度高:薄膜中杂质和缺陷的含量低;
薄膜附着力强:薄膜使用中不易脱落或剥离;
薄膜硬度高:薄膜抵抗划痕和磨损能力强;
设备和工艺的稳定可靠性:过程能力稳定。
技术领域 | 先进制造与自动化,先进制造工艺与装备 | 需求类型 | 关键技术研发 | 有效期至 | 2024-12-30 |
合作方式 | 技术服务 | 需求来源 | | 所在地区 | |