研究PVD形成的薄膜的结构、组成、性能的相互关系,包括薄膜的力学性能和热学性能等。研究PVD制备的薄膜在液压油液应用环境中的稳定性和可靠性,包括薄膜的耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性等,为薄膜的实际应用提供技术支持。研究和开发高效、稳定、可靠的PVD制备设备,优化薄膜制备工艺,提高生产效率,降低成本,为薄膜的规模化生产创造条件。 薄膜均匀性好:基体表面薄膜厚度和性质一致性良好; 薄膜纯度高:薄膜中杂质和缺陷的含量低; 薄膜附着力强:薄膜使用中不易脱落或剥离; 薄膜硬度高:薄膜抵抗划痕和磨损能力强; 设备和工艺的稳定可靠性:过程能力稳定。
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