本发明公开了一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置,包括运输平台、固定平台和基座,固定平台通过支撑柱与基座连接,运输平台的两侧设有驱动玻璃基板运动的驱动装置,运输平台上设有若干个均匀排列的输送气孔,在输送气孔的顶端嵌入有烧结金属多孔材料,在输送气孔的底部连接有输气管,输气管通过流量计与减压阀连接,减压阀通过软管与气源连接;所述运输平台每个输送气孔的周围设有至少两个小孔,小孔的底部通过气管与压力传感器连接,压力传感器和流量计的信号输出端与输入转换模块连接。本发明的一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置,具有清洁无污染、不发热、不生磁等优点,且气动系统较易维持,构建简单。
本发明公开了一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置,包括运输平台、固定平台和基座,固定平台通过支撑柱与基座连接,运输平台的两侧设有驱动玻璃基板运动的驱动装置,运输平台上设有若干个均匀排列的输送气孔,在输送气孔的顶端嵌入有烧结金属多孔材料,在输送气孔的底部连接有输气管,输气管通过流量计与减压阀连接,减压阀通过软管与气源连接;所述运输平台每个输送气孔的周围设有至少两个小孔,小孔的底部通过气管与压力传感器连接,压力传感器和流量计的信号输出端与输入转换模块连接。本发明的一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置,具有清洁无污染、不发热、不生磁等优点,且气动系统较易维持,构建简单。
商品类型 | 专利 | 申请号 | CN201710110580.3 | IPC分类号 | |
专利类型 | 发明 | 法律状态 | 有权 | 技术领域 | |
交易方式 | 技术转让 | 专利状态 | 已授权 | 专利权人 | |